Siナノ結晶を含むSi酸化膜へのAlドーピング
(Si nanocrystal in Al-doped Si oxide film)
2006年春季第53回応用物理学関係連合講演会. 2006.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:23:01 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:32:32 +0900