成膜プロセスの変調を通じたアモルファス膜の熱伝導の制御と理解
(Controlling and Understanding the Heat Conduction in Amorphous Film through Modulating Deposition Process)
2022年 第83回 応用物理学会 秋季学術講演会. 2022.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-12-15 03:24:46 +0900更新時刻: 2022-12-15 03:24:46 +0900