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プラズマCVD法SiC薄膜の形成速度に及ぼす基板温度の影響

鈴木 裕, 荒木 弘, 楊 文, 野田 哲二.
日本金属学会2004年春期大会. 2004.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-02-14 10:52:23 +0900 更新時刻 :2017-07-10 18:56:29 +0900

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