電子照射によるシリコンの表面応力の緩和
(Surface stress relaxation induced by electron iradiation)
第５０回表面科学講演大会. 2000年11月29日-2000年12月01日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:03:46 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:03:46 +0900