HOME > Presentation > Detail窒化ガリウムウェハー中の微量成分分析(Trace Analysis of Gallium nitride wafers)川田 哲, 岩井 秀夫, 伊藤 真二, 石戸谷 章, 西尾 満章, 岩撫 暁生, 小出 康夫. 日本分析化学会 第67年会. September 12, 2018-September 14, 2018.NIMS author(s)KAWADA, SatoshiIWAI, HideoNISHIO, MitsuakiIWANADE, AkioKOIDE, YasuoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2018-07-05 16:46:32 +0900Updated at: 2018-07-05 16:46:32 +0900