化学気相析出による炭化タンタル膜の微細構造と機械的特性
(Microstructure and mechanical properties of tantalum carbide films by chemical vapor deposition)
第35回秋季シンポジウム. 2022年09月14日-2022年09月16日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-11-08 03:40:53 +0900 更新時刻: 2022-11-08 03:40:53 +0900