Design of interface formation process of ferroelectric-HfxZr1−xO2/TiN interface for metal–ferroelectric–metal capacitors with high fatigue resistance
GCIM 2024 & IUMRS-ICYRAM 2024 & MRS-K SPRING MEETING. 2024年06月08日-2024年06月12日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2026-06-18 03:06:26 +0900 更新時刻: 2026-06-18 03:06:26 +0900