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著者名板倉 明子, グリネビッチ アンドレイ, 戸田雅也, N.
タイトルマイクロカンチレバーを用いた薄膜のヤング率測定方法
(Youngs modulus measurement of organic thin-films by using micro cantilever sensors.)
会議名ナノ計測センター成果報告会
発表年2007
言語Japanese
外部での文献参照

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