マイクロカンチレバーを用いた薄膜のヤング率測定方法
(Youngs modulus measurement of organic thin-films by using micro cantilever sensors.)
ナノ計測センター成果報告会. 2007-10-26.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:09:57 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:03:57 +0900