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高分子膜を使った局所ストレス配置
(The local stress patterning using organic films)

板倉 明子, 五十嵐慎一.
ナノテク融合第10回領域会議. 2007年01月30日-2007年01月31日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-02-14 11:13:57 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:54:34 +0900

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