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光熱偏向分光法によるMgイオン注入GaN層の評価

著者尾沼猛儀, 上殿明良, 山口智広, 福田清貴, 高島信也, 山口智広, 本田徹, 上殿明良, 高島信也, 本田徹, 尾沼猛儀, 角谷正友.
会議名第79回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2018
言語Japanese

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