光熱偏向分光法によるMgイオン注入GaN層の評価

尾沼猛儀, 上殿明良, 山口智広, 福田清貴, 高島信也, 山口智広, 本田徹, 上殿明良, 高島信也, 本田徹, 尾沼猛儀, 角谷正友.

第79回応用物理学会秋季学術講演会. September 18, 2018-September 21, 2018.

Created at: 2018-08-30 16:22:58 +0900 Updated at: 2018-08-30 16:22:58 +0900