ミストCVD法によるα-Cr2O3テンプレート上のα-(Al,Ga)2O3薄膜の成長
(Growth of α-(Al,Ga)2O3 thin films on α-Cr2O3 templates by mist-CVD)
2026年 第87回応用物理学会秋季学術講演会. 2026年09月08日-2026年09月11日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-09-15 03:06:49 +0900 更新時刻: 2026-09-15 03:06:49 +0900