Top-down Fabrication of Ge/Si core/shell Nanowire Channels for Vertical-type Field Effect Transistors
第70回応用物理学会春季学術講演会 The 70th JSAP Spring Meeting 2023. 2023.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2023-06-08 08:31:44 +0900更新時刻: 2023-06-08 08:31:44 +0900