Fabrication Technique of Ferroelectric HfxZr1−xO2 Thin Films Using ALD-ZrO2 Nucleation Layers
244th ECS Meeting. 2023年10月08日-2023年10月12日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2026-06-18 03:06:26 +0900 更新時刻: 2026-06-18 03:06:26 +0900