Quantitative Characterization of Combinatorial Dielectric Thin Films by the Scanning Microwave Microscope
(走査型マイクロ波顕微鏡によるコンビナトリアル誘電体薄膜の定量評価)
IUMRS-ICAM 2003. 2003年10月08日-2003年10月13日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:17:48 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:52:29 +0900