Nano-fabrication using electron-beam-induced deposition combined with low energy ion milling
(EBIDとイオンによるナノ構造作成)
14th International Conference on Ion Beam Modification of Materi. 2004年09月05日-2004年09月10日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-09-05 11:34:31 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:34:31 +0900