表面を窒化した高純度無酸素Ti蒸着膜の走査透過電子顕微鏡（STEM）と電子エネルギー損失分光測定（EELS）研究
(Study of high purity oxygen-free Ti deposited films with nitrided surfaces using scanning transmission electron microscopy (STEM) and electron energy loss spectroscopy (EELS))
第18回日本加速器学会年会. 2021.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-10-15 03:32:32 +0900更新時刻: 2021-10-15 03:32:32 +0900