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ReRAMに用いるAlOx薄膜のナノ構造
(Nano structure of AlOx film used for ReRAM)

著者児子 精祐, 梅田直樹, 李 政祐, 中野 嘉博, 加藤 誠一, 北澤 英明, 柳町 治, 木戸 義勇.
会議名2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
発表年2008
言語Japanese

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