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ReRAMに用いるAlOx薄膜のナノ構造
(Nano structure of AlOx film used for ReRAM)

児子 精祐, 梅田直樹, 李 政祐, 中野 嘉博, 加藤 誠一, 北澤 英明, 柳町 治, 木戸 義勇.
2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会. 2008年09月02日-2008年09月05日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-01-08 05:32:40 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:17:20 +0900

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