HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Hf-Silicate膜の局所絶縁劣化現象のC-AFM観察(Conductive Atomic Force Microscopy Study on Local Dielectric Degradation of)渡辺康匡, 吉田慎一, 志村考功, 渡部 平司, 安武潔, 神山聡, 有門経敏, 白石 賢二, 梅澤 直人, 知京 豊裕, 山田 啓作. 平成17年度 春季応用物理学会. 2005.NIMS著者知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 04:16:25 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:14:09 +0900