電子分光法によるゲート金属-絶縁膜界面のバンドアライメント測定
(Band Alignment Measurement at Metal Gate- Insulating Film Interfaces by Photoelectron Spectroscopy)
第６７回応用物理学学術講演会. 2006年08月29日-2006年09月01日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:41:29 +0900 更新時刻: 2018-05-30 19:47:08 +0900