Optimization of thermoelectric properties of titanium nitride films prepared by combinatorial sputter coating system
The 46th International Symposium on Dry Process (DPS2025) . 2025年11月13日-2025年11月14日.
NIMS著者
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作成時刻: 2025-12-26 03:11:45 +0900 更新時刻: 2025-12-26 03:11:45 +0900