ピエゾ抵抗カンチレバーアレイセンサーのsub-ppm感度の実証
(Sub-ppm sensitivity of piezoresistive cantilever array sensors)
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会. 2010年03月17日-2010年03月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:16:42 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:45:09 +0900