HOME > Presentation > Detailピエゾ抵抗カンチレバーアレイセンサーのsub-ppm感度の実証(Sub-ppm sensitivity of piezoresistive cantilever array sensors)吉川 元起, 秋山照伸, Sebastian Gautsch, Peter Vettiger, Hans-Peter Lang, Christoph Gerber, 櫻井利夫, 青野 正和. 2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会. 2010.NIMS author(s)YOSHIKAWA, GenkiAONO, MasakazuFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-01-08 03:16:42 +0900Updated at: 2017-07-10 20:45:09 +0900