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ピエゾ抵抗カンチレバーアレイセンサーのsub-ppm感度の実証
(Sub-ppm sensitivity of piezoresistive cantilever array sensors)

吉川 元起, 秋山照伸, Sebastian Gautsch, Peter Vettiger, Hans-Peter Lang, Christoph Gerber, 櫻井利夫, 青野 正和.
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会. 2010.

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    Created at: 2017-01-08 03:16:42 +0900Updated at: 2017-07-10 20:45:09 +0900

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