Combinatorial methodology for optimizing oxide/Si interface structure with atomic interfacial layer
(コンビナトリアル手法による原子層制御による酸化物/Si界面の構造の最適化)
SPIE:photonics WEST. 2001年01月20日-2001年01月26日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:07:16 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:39:17 +0900