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著者名ODA Minoru, IRISAWA Toshifumi, ジェバスワン ウイパコーン, MAEDA Tetsuro, KAMIMUTA Yuuichi, TEZUKA Tsutomu.
タイトルHfO2 成膜前アニールにより形成した GaO x パッシベーション層形成による Sub-1.0 nm EOT HfO2/In0.53Ga0.47As nMISFET の電子移動度向上
(Electron mobility improvement due to GaOx passivation layer formed by pre-deposition anneal in HfO2 /In0.53Ga0.47As nMISFET with sub-1.0 nm EOT)
会議名The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014
発表年2014
言語Japanese
外部での文献参照

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