SiおよびGeナノワイヤへの不純物ドーピングと評価
(Doping and characterization of impurity atoms in Si and Ge nanowires)
第31回電子材料シンポジウム. 2012年07月11日-2012年07月13日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 05:30:10 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:44:02 +0900