PZT 薄膜及びナノロッドの圧電特性に及ぼす基板拘束の影響
(Influence of substrate clamping on piezoelectric property in PZT thin films and nanorods)
日本機械学会2014年度年次大会. 2014.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:58:58 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:56:29 +0900