High purity indium oxide films prepared by modified ALD using liquid ethylcyclopentadienyl indium
17th International Conference on Atomic Layer Deposition. 2017年07月15日-2017年07月18日.
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作成時刻: 2017-02-26 21:20:59 +0900 更新時刻: 2017-07-10 22:36:17 +0900