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High purity indium oxide films prepared by modified ALD using liquid ethylcyclopentadienyl indium

Fumikazu Mizutani, Shintaro Higashi, 生田目 俊秀.
17th International Conference on Atomic Layer Deposition. 2017.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2017-02-26 21:20:59 +0900 更新時刻 :2017-07-10 22:36:17 +0900

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