最表面に ZrO2層を有する強誘電性 HfxZr1-xO2薄膜の結晶相の深さ方向分布の理解
(Understanding Depth Profile of Crystal Phases in Ferroelectric HfxZr1-xO2 Thin Films Capped with Topmost ZrO2 Layer)
2026年 第73回 応用物理学会 春季学術講演会. 2026年03月15日-2026年03月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-07-31 03:07:56 +0900 更新時刻: 2026-07-31 03:07:56 +0900