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電子ビームのデポのリソグラフィーで亜10nmシリコンのナノ構造
(Sub-10 nm Silicon Nanostructures by EBID Lithography)

シチュゴフ イリヤ, 中山 佳子, 三石 和貴.
The International Conference on Nanophotonics 2010. 2010.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2017-01-08 04:03:44 +0900 更新時刻 :2017-07-10 20:47:57 +0900

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