HOME > 口頭発表 > 書誌詳細電子ビームのデポのリソグラフィーで亜10nmシリコンのナノ構造(Sub-10 nm Silicon Nanostructures by EBID Lithography)シチュゴフ イリヤ, 中山 佳子, 三石 和貴. The International Conference on Nanophotonics 2010. 2010.NIMS著者中山 佳子三石 和貴Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-01-08 04:03:44 +0900 更新時刻 :2017-07-10 20:47:57 +0900