Role of Oxygen in Hf-based High-k Gate Stacks on Vfb Shifts
(Hf-酸化物ゲートスタックのＶｆｂシフトへ及ぼす酸素の役割)
Int. Conf. on Solid-State and Integ. Circuit Tech. (ICSICT-2010). 2010年11月01日-2010年11月04日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 12:52:15 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:43:03 +0900