金属電極／high-k絶縁膜キャパシタのフラットバンド電圧特性に与える仕事関数変調及び熱処理の影響
(Influences of Annealing Conditions on Flatband Voltage Properties Using Continuously Workfunction-Tuned Metal Electrodes)
ゲートスタック研究会. 2006年02月02日-2006年02月04日.
NIMS著者
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作成時刻: 2019-03-04 09:37:09 +0900 更新時刻: 2019-03-04 09:37:09 +0900