アミン蒸気処理によるポリアミック酸膜の膜厚変化
(Thickness change of polyamic acid films by amine vapor treatment )
2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会. 2014年03月17日-2014年03月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:42:35 +0900 更新時刻: 2017-07-10 21:49:43 +0900