高濃度リンドープn型ダイヤモンド薄膜の評価
(Characterization of heavily phosphorus doped n-type diamond thin films)
第62回応用物理学会春季学術講演会. 2015.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:51:22 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:05:09 +0900