強誘電性の向上へ向けたHfO2系強誘電体薄膜と電極の界面設計の重要性
(Importance of interface design between ferroelectric HfO2-based thin films and electrode for superior ferroelectricity)
電気学会C部門 電子材料研究会「マルチ機能デバイス実現に向けた材料、プロセス・評価技術の開拓」. 2025年11月25日-2025年11月26日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2026-01-20 03:06:38 +0900 更新時刻: 2026-01-20 03:06:38 +0900