HOME > Presentation > Detail原子層堆積技術がリードする電子デバイス(Electronic devices using superior atomic layer deposition technique)生田目 俊秀. 日本電子材料技術協会 2023年第60回秋期講演大会. November 23, 2023-November 24, 2023. InvitedNIMS author(s)NABATAME, ToshihideFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2023-11-28 03:08:56 +0900 Updated at: 2024-01-09 03:09:51 +0900