原子層堆積技術がリードする電子デバイス
(Electronic devices using superior atomic layer deposition technique)
日本電子材料技術協会 2023年第60回秋期講演大会. 2023年11月23日-2023年11月24日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2023-11-28 03:08:56 +0900更新時刻: 2024-01-09 03:09:51 +0900