メタルチャンバーを用いたホウ素ドープダイヤモンドのCVD 合成と物性評価
(CVD Growth in the Metal Chamber and Physical Properties of B-doped Diamond)
日本物理学会2008年秋季大会. 2008.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:51:03 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:18:56 +0900