A novel patterning method for metal-organic precursors on a SiOx/Si substrate using a local electric field
(局所電場を利用した熱酸化シリコン基板上への有機金属前駆体の新規なパターニング方法)
MRS 2002 Spring meeting. 2002年04月01日-2002年04月05日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:22:45 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:22:45 +0900