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著者名OKUYAMA, Hideo, UDA, Masahiro, SAKKA, Yoshio.
タイトルPreparation of SiC Nano Particle by Nitrogen Arc Plasma
(窒素プラズマによるSiCナノ粒子の作製)
会議名ISSEM 2007
発表年2007
言語English
外部での文献参照

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