HOME > 口頭発表 > 書誌詳細ALD法を用いた電子デバイスの強誘電体/高誘電体薄膜の作製技術生田目 俊秀. 薄膜実践セミナーIV. 2018. 招待講演NIMS著者生田目 俊秀Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2019-03-04 09:37:20 +0900更新時刻: 2024-03-05 12:20:55 +0900
