窒素同位体を用いたAlN薄膜の作製
(Fabrication of AlN thin films using nitrogen isotope)
日本セラミックス協会2008年年会. 2008.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:57:29 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:09:14 +0900