Al2O3絶縁膜を用いたトップゲート型MoS2FETの試作
(Fabrication of top-gated MoS2 FET with Al2O3 Insulator)
2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会. 2014.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:38:45 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:55:45 +0900