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NIMS Award Symposium 2026

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サブ10nmCMOS 作製のための40nm ノード微細MOS 構造の原子レベルでの構造観察

知京 豊裕, 中島 清美, 知京豊裕, 岩井洋.
シンポジウム「来るべきナノCMOS 時代に向けての挑戦とその課題」. April 27, 2005-April 28, 2005. Invited

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    Created at: 2017-01-08 04:16:16 +0900 Updated at: 2024-03-05 11:40:37 +0900

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