HOME > Presentation > Detailサブ10nmCMOS 作製のための40nm ノード微細MOS 構造の原子レベルでの構造観察知京 豊裕, 中島 清美, 知京豊裕, 岩井洋. シンポジウム「来るべきナノCMOS 時代に向けての挑戦とその課題」. April 27, 2005-April 28, 2005. InvitedNIMS author(s)CHIKYO, ToyohiroFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-01-08 04:16:16 +0900 Updated at: 2024-03-05 11:40:37 +0900