HOME > 口頭発表 > 書誌詳細無酸素Pd/Ti蒸着したICF203ゼロレングスフィン型 非蒸発型ゲッターポンプの排気性能評価と電子顕微鏡観察佐藤 裕太, 菊池 貴司, 宮澤 徹也, 大野 真也, 橋本 綾子, 山中 操, 間瀬 一彦. 2020年日本表面真空学会学術講演会. 2020.NIMS著者橋本 綾子Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2020-12-24 03:00:25 +0900更新時刻: 2020-12-24 03:00:25 +0900
