イオンビームスパッターによる金属三元コンポジションスプレッド薄膜作成装置の開発
(Development of Ternary Metal Composition Spread Thin Film Fabrication System Using an Ion Beam Sputter)
2003年秋季第64回応用物理学会. 2003年08月30日-2003年09月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:20:52 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:46:42 +0900