Clarification of the Mechanism of Crystallization by the Topmost ZrO2 Layer in ZrO2/Hf0.5Zr0.5O2 Stack
2025 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2025). 2025年09月15日-2025年09月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-01-20 03:06:38 +0900 更新時刻: 2026-01-20 03:06:38 +0900