層状構造をもつ酸化物薄膜のMOCVD法による成長
(Oxide Thin Films with Layered Structure Grown by MOCVD)
著者 | T. Kaneko, K. Endo, P. Badica, N. Ikenaga, T. Moriguchi, Y. Takemata, T. Hondo, T. Takada, T. Endo, 有沢 俊一, H. Kezuka, K. Oohashi. |
---|---|
会議名 | IUMRS-International Conference on Electronic Materials |
発表年 | 2012 |
言語 | Japanese |