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熱フィラメントCVD法によるn型ダイヤモンドの成長と高濃度ドーピング
(NA)
第19回Cat-CVD研究会. July 14, 2022-July 15, 2022.
NIMS author(s)
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Created at: 2023-11-27 14:51:24 +0900 Updated at: 2023-11-27 14:51:24 +0900