development of scanning microwave microscope for high-throughput characterization of combinatorial dielectric thin film
(走査型マイクロ波顕微鏡によるコンビナトリアル誘電体薄膜のハイスループット評価)
2001MRS fall meeting . 2001年11月26日-2001年11月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:09:54 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:09:54 +0900