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レーザーアニールによるシリコン酸化膜中でのシリコンナノ結晶ドット形成過程
(Formation process of silicon nanocrystals in SiOx by laser annealing)

内田紀行, 岡見威, 金藤浩史, 深田 直樹, 村上浩一.
2007春季日本物理学会. 2007.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-02-14 11:25:08 +0900 更新時刻 :2017-07-10 19:52:39 +0900

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