HOME > 口頭発表 > 書誌詳細レーザーアニールによるシリコン酸化膜中でのシリコンナノ結晶ドット形成過程(Formation process of silicon nanocrystals in SiOx by laser annealing)内田紀行, 岡見威, 金藤浩史, 深田 直樹, 村上浩一. 2007春季日本物理学会. 2007.NIMS著者深田 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-02-14 11:25:08 +0900 更新時刻 :2017-07-10 19:52:39 +0900