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著者名板倉 明子, 戸田雅也, 成島哲也, 高木祥示, R=ベルガー.
タイトル表面応力を利用したガス分子の検出手法とその応用
(Gas sensing by stress measurement of thin polymer film)
会議名第11回 Cat-CVD 研究会
発表年2014
言語Japanese
外部での文献参照

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