表面応力を利用したガス分子の検出手法とその応用
(Gas sensing by stress measurement of thin polymer film)
第11回 Cat-CVD 研究会. 2014年07月11日-2014年07月12日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:26:22 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:45:12 +0900